衍射光学元件
螺旋相位板系列
LETO系列螺旋相位板基于熔融石英玻璃基底,连续面型,半导体加工工艺制作,是产生涡旋光束的重点器件。螺旋相位板(VPP,Vortex Phase Plate)是一种新型的衍射光学元件,可以产生具备涡旋的特殊光场。入射平面波穿过VPP后产生的涡旋光束是一种具有相位奇点、螺旋型波前和确定轨道角动量的特殊光场,在束缚微小粒子、量子信息传输、光梯度力研究等众多领域有着广泛应用。UPOLabs可为客户提供不同波长、不同规格尺寸的螺旋相位板。默认基于石英玻璃材质,采用连续面型基于高斯基模设计加工.
定制螺旋相位板服务
UPOLabs承接客制化螺旋相位板、随机相位片DOE加工需求,根据用户需求定制特殊波长、特殊尺寸和材料的螺旋相位板。波长从390~2000nm,基于石英玻璃、硅、碳化硅等材料基底,采用半导体刻蚀工艺,工艺精度可达50nm以内。
多台阶图案DOE母版定制
基于DOE的帧格动画可以用于景观灯、舞台效果灯等激光应用,基于树脂类光栅图案的DOE元件制作离不开光刻母板。基于二台阶光刻技术的图案光栅母板是UV转印、纳米压印大规模制造图案光栅的必需基础。UPOLabs可为广大激光器厂家提供图案母板设计、加工。
激光分束器件
激光分束器是典型的衍射光学元件,它通过衍射作用将一束入射激光分成光强均匀分布的多束激光出射,在诸多光学领域有着重要的应用。在激光加工领域,激光分束DOE不仅要满足高衍射效率、高均匀性的要求,还要能够实现大角度分束。UPOLabs自身基于SLM相位研究平台,融合了国内资深衍射元件设计团队和半导体刻蚀加工服务商一起,将加工工艺和设计计算整合成闭环的链式技术服务,为广大科研客户和工业客户提供各类分束器件。
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